羅茨真空泵(簡稱羅茨泵)是一種無內(nèi)壓縮的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菔秸婵毡谩J抢脙蓚(gè)8字形轉(zhuǎn)子在泵殼中旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生吸氣和排氣作用
的。其原理和羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于它在低壓力范圍內(nèi)工作,氣體分子自由程較大,氣體漏過微小縫隙的阻力很大,因而能
獲得較高的壓縮比,可以作為增壓真空泵使用;但它不能單獨(dú)地把氣體直接排到大氣中去,需要和前級真空泵串聯(lián)使用,被
抽氣體通過前級真空泵排到大氣中去。
羅茨泵的特點(diǎn)是:1.轉(zhuǎn)子與泵腔、轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間有一定的間隙,互不接觸,不需要用油潤滑。2.轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對
稱性,可以提高轉(zhuǎn)速,從而能夠制造出結(jié)構(gòu)緊湊的大抽速泵來。3.泵工作時(shí)振動(dòng)小,容積大,容積利用系數(shù)=0.5左右。4.在泵
腔內(nèi)并不發(fā)生像機(jī)械真空泵那樣的壓縮現(xiàn)象,因此它不需要排氣閥。也正因如此,可抽除可凝性蒸汽。5.啟動(dòng)快,能夠
|